气体质量流量计

    气体质量流量计是检测部分采用本公司独自开发的感热式流速传感器“MicroFlow™传感器”（μF传感器）的质量流量计，μF 传感器是边长1.7mm、厚0.5mm 的高灵敏度、高速应答的流速传感器，实现了100:1 的宽测量比。流量计利用微型机械技术制造的超小型流速传感器和高度的集成电路设计技术的结合，实现良好的流量检测功能。

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